Chemische samenstelling: gemaakt van zuiver zirkonium (ZR) of zirkoniumlegering (zoals zirkonium-hafniumlegering Zr-HF-legering).
Structurele vorm: gemeenschappelijke vormen omvatten ronde doelen en rechthoekige doelen.
Dimensionale nauwkeurigheid en oppervlaktekwaliteit: hoge dimensionale nauwkeurigheid en oppervlakteafwerking zijn vereist. Het oppervlak moet glad, scheurvrij zijn, zonder duidelijke poriën en onzuiverheden.
Dichtheid: een hoge dichtheid moet worden bereikt om stabiliteit en filmkwaliteit tijdens het sputteren te waarborgen.
Hoge zuiverheid zirkonium doelproducten afbeelding weergave
Zirkoniumdoelstelling voor optische coating
Roterend zirkoniumdoel
